浑河之畔，铁西区的老厂房曾托起新中国工业的脊梁，齿轮与轴承的轰鸣声里，“东方鲁尔”的钢铁血脉流淌了半个世纪。而今，沈阳这座镌刻着“共和国长子”荣光的城市，正以精密半导体设备的嗡鸣续写新的传奇。
在京津冀与长三角的半导体版图之外，以沈阳为代表的辽宁工业重镇用二十年时间破茧成蝶，将老工业基地的厚重积淀熔铸成中国半导体设备国产替代的东北力量。截至2025年5月底，辽宁省上市公司数量共84家，高新技术企业占比过半，以拓荆科技、芯源微、富创精密等为代表的半导体设备企业交出了一份崭新的资本市场“辽宁答卷”。
从薄膜沉积设备、涂胶显影设备到半导体设备精密零部件，辽宁企业在一个又一个领域打破海外垄断，托起国产半导体设备的脊梁。近日，证券时报、辽宁日报“从资本市场看地方高质量发展”大型融媒报道采访团走进辽宁沈阳，进行深度调研。
根植沃土：从钢铁轰鸣到“芯片森林”
在沈阳，一条浑河串联起了辽宁产业发展的脉络，当北岸铁西区的钢铁轰鸣声逐渐远去，南岸的浑南区一座座半导体设备工厂拔地而起。从2019年至今，辽宁在资本市场从无到有跑出了芯源微、神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控这5家以半导体为主业的上市公司，半导体设备产业集群初现规模。
不仅势头猛，而且后劲足，在半导体设备领域拥有核心技术的沈阳新松半导体设备有限公司（以下简称“新松半导体”）、沈阳和研科技股份有限公司（以下简称“和研科技”）、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）等优秀企业也在辽宁深深扎根、静待花开。
沈阳市发改委相关负责人在接受证券时报记者采访时表示，沈阳市集成电路产业集群重点企业数量已达57家，形成了以拓荆科技、芯源微、富创精密、中科仪、和研科技、新松半导体等6家龙头企业为主体，N家配套企业为支撑的“6+N”产业发展体系。
“拓荆科技的等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积及应用于三维集成领域的先进键合设备已达到国际先进水平。芯源微的前道涂胶显影设备已与光刻机联机运行，成为中高端涂胶显影机国内唯一的供应商。富创精密是国内精密零部件领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。”上述负责人表示。
为何辽宁能长出这一片半导体设备“森林”？答案是：工业基础是“土壤”，产业集聚是“阳光”，而科教基因是“种子”。从工业基础来看，辽宁省工业门类齐全且体系完备，国民经济行业41个工业大类，辽宁拥有40个（仅缺其他采矿业）。
新松半导体总经理程龙表示：“沈阳作为‘共和国长子’，制造业有着得天独厚的优势，半导体装备核心零部件的产业配置完善，在政策引导下形成了集成电路装备产业集群。”
沈阳市发改委相关负责人称，早在2004年，沈阳就成立了全国第一个集成电路装备制造业产业基地，2010年该基地被科技部认定为国家集成电路装备高新技术产业化基地。如今沈阳正推进以浑南“北方芯谷”产业片区为主的“一主两翼”产业空间布局建设，加快集成电路产业集聚发展。
在“辽宁集群”崛起之路上，科研基因起到了关键作用。辽宁科教实力雄厚，全省共有高等院校114所，其中本科高校63所，数量位居全国第六。2024年，辽宁新增了10家全国重点实验室，围绕重点产业布局了20个重点实验室群，全省选派超千名科技特派员服务企业。
辽宁半导体产业版图深植“中国科学院基因”，多家龙头企业的发展源头可追溯至中国科学院科研院所。中国科学院沈阳分院在辽宁有大连化学物理研究所、金属研究所、沈阳应用生态研究所、沈阳自动化研究所等4个研究所，以及沈阳计算技术研究所有限公司、中科仪等2个整体转制公司。其中，在新三板挂牌的中科仪是国内唯一实现集成电路领域批量应用的干式真空泵制造企业。
沈阳自动化研究所的产业孵化能力尤为突出：其控股的创业板上市公司机器人（新松机器人）孕育了新松半导体；早年发起成立的沈阳先进制造技术产业有限公司（于2013年退出），现为富创精密的第一大股东；芯源微的创立同样源自该所，其创始人、荣誉董事长宗润福，曾担任自动化研究所的研究员、室主任。
新松半导体公司展示的各类机器人产品。 宋春雨/摄
科教埋下的“种子”，在政策、金融、企业、市场多方合力下茁壮成长，让辽宁这片“钢铁大地”生长出了覆盖薄膜沉积设备、涂胶显影设备、真空机械手等全产业链的“半导体设备森林”。
锻金砺锋：用金融力量磨出科技锋刃
全球产业争锋犹如棋盘对弈，布局远非一日之功。辽宁半导体设备企业从“活下来”到“活得好”，离不开政策和金融力量支撑的“三步棋”。棋盘山所在的浑南区就是沈阳半导体设备产业的发展“主阵地”，汇聚了拓荆科技、芯源微、富创精密等核心企业。
拓荆科技董事长吕光泉表示，在中国半导体设备“从0到1”的路上，国家科技重大专项功不可没。拓荆科技、芯源微、富创精密与新松半导体均承担着国家科技重大专项的部分研发任务，并从中获得了重要的资金支持。
拓荆科技工作人员开展研发工作。 受访公司/供图
吕光泉认为，中国的产业政策在半导体设备领域起到了实效。“你现在看到的所有第一梯队的半导体设备企业，基本上都承担过国家科技重大专项，它让半导体材料和设备完成了‘从0到1’的跨越，造就了这些企业的第一代技术。”吕光泉表示，“而‘从1到10’的路上，国家大基金进来了。”
2014年，国家集成电路产业投资基金一期股份有限公司（即国家大基金一期）成立，近七成资金投入集成电路制造领域。迄今为止，已成立三期国家大基金，总注册资本超过6400亿元。
和研科技总经理余胡平表示，2022年12月，和研科技在B+轮融资中获得了国家大基金二期的投资，为公司发展“踩了一脚油门”。目前和研科技已成为国产切磨抛装备的领军企业，在划片机、切割分选机和研磨机等半导体封装领域关键设备上逐步打破海外企业垄断。
辽宁半导体设备企业“从10到100”的路，得益于科创板提供的多项助力。富创精密创始人、董事长郑广文说：“科创板实际上救了中国的半导体，它把资金和资源聚集到了半导体企业身上。”
2019年12月16日，芯源微在科创板上市，成为“辽宁省科创板第一股”，形成了示范效应，带动了一批真正有技术、有市场的沈阳半导体设备企业赴科创板上市。2022年4月，拓荆科技在科创板上市，同年10月，富创精密登陆科创板。
向科创板的“一跃”，让辽宁半导体设备企业有了充足的资金去扩张产能、研究技术。同时，科创板的股权激励政策也让半导体设备企业能更从容地面对行业激烈的人才争夺战。
宗润福表示：“芯源微在科创板上市后，科创板的股权激励提供了非常好的工具。”据透露，芯源微核心工程师的股权激励收入曾一度达到其年收入的2倍，产生了对人才的“磁吸”效应。
“在科创板上市5年多来，公司的利润增长了8倍，收入也增长了8倍。无论是IPO的资金还是上市之后的增发，这些融资扩产都让公司受益。”宗润福表示，“如果没赶上科创板，我们可能也是一家健康的企业，但很难成为一家腾飞的企业。”
吕光泉认为，对许多半导体设备企业来说，从国家科技重大专项到国家大基金再到科创板上市，这三环每一环都不可或缺，有了持续的资金加持，前期踏踏实实搞研发、真正有技术突破的企业才能实现“从0到100”的腾飞。
改天换地：营商环境出现质变
国家层面的政策如雨露甘霖，润泽各地，为何是辽宁长出了半导体设备的“广阔森林”，逐步发展成中国半导体设备“第三极”？辽宁为何能培育出这么一批有活力有冲劲的创新型科技企业？
这背后，是包括沈阳在内的辽宁省多个城市让营商环境“改天换地”，树立了极强的服务企业的意识。沈阳市发改委等政府部门以“店小二”式的服务态度帮企业排忧解难，树立了“项目为王、招商为要、落地为大”的服务理念。
沈阳市发改委相关负责人举了这样一个案例：在拓荆科技半导体先进薄膜设备产业化基地项目落地沈阳过程中，曾遇到门前有未被贯通路段等问题。沈阳市发改委主动倾听企业诉求，多次组织召开协调会议，最后成功解决了企业门前路段贯通、开工前期场地平整、项目场地开口、停车位配建等问题，帮助项目顺利落地开工。
沈阳市委金融办则以“全周期护航”的态度陪伴企业发展。沈阳市委金融办副主任、沈阳市地方金融管理局局长韩宾表示，在前端，市委金融办建立了“上市快速响应机制”，对企业改制涉及的土地、税务等问题适时启动“上市联席会议制度”，实行总对总的协调办理，由市委金融办对企业上市前期的诉求协调各部门分析、研判、解决。
“在中端，沈阳市委金融办为企业协调并购贷款、融资担保等金融服务，邀请交易所专家到企业实地考察调研并‘切脉听诊’，为企业上市创造有利条件、扫清障碍。在后端，市委金融办设立了上市服务专班，为企业配备‘上市服务秘书’，2024年为宏远股份、东方钛业等企业协调解决合规性审查、国有资产确权等难题超过十项。”韩宾表示。
“我们就是服务员。”辽宁省地方金融管理局副局长战巍表示。接受记者采访时，他才刚从深圳回到沈阳，在深圳举办了2025“创投辽宁”发展大会深圳专场路演活动，拜访了头部创投机构，希望能吸引深圳投资者投资辽宁企业、分享辽宁发展红利，助力辽宁企业早日登陆资本市场。目前，辽宁有上市辅导备案企业近30家。
对上市后备梯队企业的“弯腰服务”，让辽宁在资本市场收获累累硕果且有“丰收展望”。自2019年以来，辽宁新增境内上市公司22家，占到了目前84家上市公司的26.2%。战巍表示，目前辽宁上市后备库企业共470家，其中专精特新、“瞪羚”、高新技术等科技型企业近350家。
聚力攻坚：打响创投补强、产业拓展长期战役
尽管在资本市场上，辽宁已点燃“芯”星之火，但想让其成燎原之势、带起整个“辽宁板块”在资本市场上的声量，仍需在多方面持续发力。
其一，需强化创投生态。与发达地区相比，辽宁本土创投力量稍显薄弱，一定程度上制约了本地半导体企业的融资能力。外地创投机构对辽宁企业的了解，也很难像本土机构一样深刻，需避免优质项目因“地域认知差”而错失发展机遇。
战巍表示，辽宁省正积极改善创投发展生态，去年成功举办首届辽宁产投融合发展大会，发布200个重点新质生产力企业融资项目，释放融资需求超120亿元，吸引全国近百家创投机构走进辽宁。辽宁省还推出给予创投机构每家每年最高1000万元财政资金激励等系列支持措施，相继吸引22只基金在辽宁省注册落地，认缴资金70.92亿元。辽宁还上线了“创投辽宁”股权投融资服务平台，累计向千余家次投资机构发布企业融资需求近300亿元，一年来助力20余家企业获得股权融资5.7亿元。
战巍称，当前辽宁省正大力争取国家级基金、央企资本及头部创投机构在辽设立或参股子基金，支持符合条件的创投机构发行科创债以扩充资金池。今年7月初，辽宁即将举办2025创投辽宁发展大会，将邀请创投机构深度走访辽宁，深入了解辽宁丰厚的科教底蕴和“硬科技”本色。
其二，辽宁以重工业为主，在多个领域“大工厂”的身份强于“大市场”。为了“强链、固链、延链”，沈阳市积极谋划集成电路设计、集成电路芯片产线等一批重点项目，填补在产业链上的“空白地带”。沈阳市发改委表示，沈阳重点围绕产业链上下游配套，推进亿方联创EDA底座与组件研发推广中心等一批项目签约落地，推动天科合达半导体设备产业化基地等项目年内开工，助力汉京半导体产业基地等项目竣工投产。
“我们的目标是：将沈阳建设成为具有国际重要影响力和竞争力的集成电路装备产业基地，将集成电路装备产业打造成为‘沈阳制造’新名片、新标志。”沈阳市发改委相关负责人表示。
在一个又一个战场，以沈阳为代表的辽宁城市正打响长期的攻坚战役。在营商环境上“改天换地”的辽宁，也需将半导体设备产业发展壮大的经验复制到其他产业。只有在更多产业上走到全国“新一极”，才能真正在资本市场掀起“辽宁板块”的燎原之火。
（报道组成员：证券时报记者胡学文、安宇飞，辽宁日报记者孔爱群、张学军）
校对：冉燕青
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